? 半導體制造:氣浮平臺精度達50nm,滿足晶圓測試、光刻技術等超精密需求。? 精密裝配:XYZ直線電機平臺實現光學元件亞微米級對位,保障光軸一致性。 公司支持全方位客制化設計,根據設備規格、負載能力及驅動方式等參數提供個性化方案,涵蓋十字滑臺、龍門式工作臺等多軸組合。